- Точка отбора газов сверхвысокой чистоты для всех систем подачи газа
- 100 TG: при подаче <30 slpm 1/4” VFS
- 200 TG: при подаче <300 slpm 3/8” VFS
- 300 TG: при подаче <600 slpm 1/2” VFS
- Высокая точность регулировки
- Все соединения сварные или VFS
- Ручной или пневматический мембранный клапан
- 100%-ное тестирование на герметичность гелием
Описание
Технические данные
|
Входное давление: |
300 psig |
|
Выходное давление: |
30/60/100/150 psig |
|
Материалы, вариант1 |
|
|
Корпус: |
Нержавеющая сталь 316L |
|
Седло клапана: |
PCTFE |
|
Диафрагма: |
Elgiloy® |
|
Материалы, вариант2 |
|
|
Корпус: |
Нержавеющая сталь 316L/Вторичный переплав 316L |
|
Седло клапана: |
PCTFE |
|
Диафрагма: |
Hastelloy® C276 |
|
Скорость утечки (в атмосферу): |
1x10-9 мбар л/с He |
|
(через седло): |
1x10-8 мбар л/с He |
Для подбора конкретной точки отбора газов по материалам и подключению обратитесь к сотрудникам отдела продажи или скачайте каталог.
Нужна консультация?
Наши специалисты ответят на любой интересующий вопрос
Задать вопрос